MEMS/传感器设计全流程:MEMS Studio
  • 功能:支持标准参数化单元(PCell)设计、工艺及器件建模(FEM)、版图设计、三维界面模型、阻尼计算、电特性仿真整合、设计与工艺协同优化(Design Technology Co-Optimization,DTCO)等;

  • 产品线构成:pLogic、Advanced SDL、pLayout、pVerify、多物理场优化接口及有限元分析工具、三维器件截面分析工具

  • 应用场景:


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